Ceramica cu carbură de siliciu: componente de precizie esențiale pentru procesele semiconductoare (Partea 1)
Carbura de siliciu (SiC), ca material ceramic structural de înaltă performanță, posedă caracteristici precum densitate ridicată, conductivitate termică ridicată, rezistență mare la încovoiere, modul elastic mare, rezistență puternică la coroziune și rezistență la temperatură ridicată. Este mai puțin predispus la deformare din cauza tensiunii de încovoiere sau a tensiunii termice, făcându-l potrivit pentru medii corozive dure și cu temperaturi ultra-înalte întâlnite în procesele semiconductoare cum ar fi epitaxia plachetelor, gravarea și nu numai. În consecință, a găsit aplicații pe scară largă în procese precum șlefuirea și lustruirea, tratamente termice precum epitaxie/oxidare/difuzie, litografie, depunere, gravare și implantare ionică în fabricarea semiconductorilor.
Procesul de măcinare
• Granule de roată de șlefuit din carbură de siliciu
Disc de șlefuit SiC pentru măcinarea napolitanelor După tăierea lingourilor în napolitane, apar adesea margini ascuțite, bavuri, fisuri sau alte defecte. Pentru a evita efectele adverse asupra rezistenței plăcilor, finisajului suprafeței și contaminării cu particule în procesele ulterioare, napolitanele trebuie să fie măcinate pentru a reduce grosimea, pentru a îmbunătăți planeitatea suprafeței plachetei și pentru a elimina deteriorarea suprafeței cauzate de tăierea firului. În prezent, cea mai comună metodă este șlefuirea pe două fețe folosind roți de șlefuire, cu eforturi pentru a îmbunătăți calitatea măcinarii prin optimizarea parametrilor de șlefuire, cum ar fi materialul roții, presiunea de șlefuire și viteza de rotație.
Principiul șlefuirii pe două fețe
În mod tradițional, roțile de șlefuit erau realizate în principal din fontă sau oțel carbon, caracterizate prin durate de viață scurte și coeficienți semnificativi de dilatare termică. Cu toate acestea, odată cu dezvoltarea materialelor ceramice SiC rezistente la uzură și a proceselor de sinterizare, roțile de șlefuit SiC le-au înlocuit treptat pe cele din fontă și oțel carbon datorită durității ridicate, uzurii reduse și coeficienților de dilatare termică similari cu plăcile de siliciu, oferind avantaje semnificative, în special în procesele de șlefuire și lustruire de mare viteză.
Disc abraziv din carbură de siliciu
Tratament termic și alte procese
• Dispozitive și componente din carbură de siliciu în interiorul camerelor de reacție
Dispozitive și componente SiC în camerele de reacție Fabricarea plachetelor implică diferite procese termice, cum ar fi oxidarea, difuzia, recoacere și aliere, care necesită produse ceramice SiC pentru transportul plachetelor între procese și componente din echipamentele de procesare termică.
Brațe din ceramică
În producția de plachete semiconductoare, este necesar un tratament termic la temperatură înaltă, folosind adesea brațe mecanice pentru transportul, manipularea și poziționarea plachetelor semiconductoare. Aceste brațe trebuie să aibă rezistență mecanică ridicată, rezistență la coroziune, rezistență la temperatură înaltă, rezistență la uzură, duritate ridicată și izolație, deoarece funcționează în medii curate, de mare viteză și adesea corozive, cum ar fi vidul, temperaturile ridicate și gazele reactive. . În comparație cu alumina, brațele ceramice SiC îndeplinesc mai bine aceste cerințe, dar costurile lor ridicate și dificultățile de procesare le-au limitat oarecum aplicațiile.
Componentele din camerele de reacție
Echipamentele semiconductoare pentru prelucrarea termică includ cuptoare de oxidare (orizontale și verticale) și echipamente de procesare termică rapidă (RTP). Datorită temperaturilor ridicate de funcționare, componentele din interiorul camerelor de reacție necesită performanțe ridicate. Componentele SiC sinterizate de înaltă puritate, inclusiv bărci verticale, piedestale, tuburi de căptușeală, tuburi interioare și plăci deflectoare, sunt indispensabile pentru echipamentele de procesare termică cu circuit integrat.
Componente din interiorul camerelor de reacție
Va urma....
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. este un furnizor reputat și de încredere specializat în producția și vânzarea de piese ceramice tehnice. Oferim producție personalizată și prelucrare de înaltă precizie pentru o serie largă de materiale ceramice de înaltă performanță, inclusiv ceramică de alumină, ceramica din zirconiu, nitrură de siliciu, carbură de siliciu, nitrură de bor, nitrură de aluminiu și sticlă ceramică prelucrabilă. În prezent, piesele noastre ceramice pot fi găsite în multe industrii precum mecanică, chimică, medicală, semiconductoare, vehicule, electronice, metalurgie etc. Misiunea noastră este de a oferi piese ceramice de cea mai bună calitate pentru utilizatorii globali și este o mare plăcere să vedem ceramica noastră. piesele funcționează eficient în aplicațiile specifice ale clienților. Putem coopera atât la prototip, cât și la producția de masă, bine ați venit să ne contactați dacă aveți cerințe.
